
北京納茲精密科技有限公司
BEIJING NATSU PRECISION TECHNOLOGY CO.LTD
氣浮轉臺
A-ABRX-M200 系列是使用直驅旋轉電機和空氣軸承,無摩擦,使用圓光柵做為檢測反饋,達到優異轉臺臺面跳動及旋轉精度。
適用于微小步距或者需要超精確旋轉定位的應用場景。是精密光學調試、安裝、加工非常優秀的應用選擇。應用領域:斷層掃描、束線系統、晶圓計量、晶圓檢驗、測量技術、檢驗系統、校準、掃描。
● 氣浮軸承100nm軸跳,端跳,直驅電機高精度轉角運動
● 使用中安靜平穩、噪音極低
● 有非常高的精度表現水平