亚洲国产精品久久久久蜜桃-99久久99久久久99精品齐-亚洲国产成人久久精品图片-国产在线视频www色|www.ywlingyun.com

{dede:field name='position'/}
 

配件

產品詳情
VAG系列運動平臺是XiviTech持續多年在很好材料、特有加工技術、精密結構分析與設計領域不斷投入后，專門為幫助當今半導體工業設備制造業實現高精度、高產出率目標而研發的系列平臺。高自主知識產權及精英的研發團隊，能確保我們的企業在迎接未來挑戰時，始終保持領先的技術能力。VAG系列運動平臺，非常能滿足在電子及半導體加工、檢測行業極具挑戰的嚴苛要求。
產品參數

VAG的優點：
1、掃描速度快
2、整定時間小
3、線性編碼器反饋
4、全氣浮及真空預載
Travel Scan Axis 350 mm , 500 mm,
Step Axis 350 mm , 500 mm
Drive System Linear Brushless Motor                  
Resolution 0.25 nm
Accuracy ±300 nm
Repeatability（choose linear driver） ±100 nm (±50 nm)
XYZ Position Stability（Air On） 20 nm
Granite Bass Thickness 250 mm
Rated Payload(Maintaining Dynamic Specifications) 5 kg
Maximum Payload 25 kg
Maximum Velocity with Rated Payload Scan & Step Axis  1000 mm/s
Peak Acceleration with Rated Payload Scan & Step Axis 2 G (20 m/s2)
RMS Acceleration with Rated Load Scan & Step Axis 1 G (10 m/s2)
Stiffness,First Natural Frequency with Rated Payload >100 Hz
Pitch 2 arc sec
Roll 2 arc sec
Yaw 2 arc sec
XY straightness 1 um
XY Flatness 1.2 um
XY Orthogonality <2 arc sec
Velocity ripple( sampled at 400mm/s) 0.1 %
MTBF 40,000 hours