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多軸位移臺(tái)

產(chǎn)品詳情

A-μSCAN三軸或四軸大理石運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型（支持輕定制）

A-μSCAN系列掃描系統(tǒng)為我司近期推出的高性能一體式系統(tǒng)，整機(jī)采用了高剛性的花崗巖作為底座，配合高性能直線電機(jī)及伺服平臺(tái)，主要用于高精度掃描、加工、檢測(cè)等應(yīng)用。標(biāo)準(zhǔn)行程參數(shù)選擇支持快速出貨，大大減少了客戶自己組合搭配不熟悉導(dǎo)致的組合缺陷及調(diào)試不熟悉導(dǎo)致的性能短板。


產(chǎn)品參數(shù)

微信截圖_20250218121248.png

A-μSCAN系列主要特征

? XY軸為U1系列高性能直線電機(jī)平臺(tái)組成（迷宮式密封防護(hù)效果好沒有易損件和粉塵）

? R軸為高精度扁平化DD馬達(dá)

? Z軸標(biāo)配U3系列高精度伺服電機(jī)平臺(tái)（可選配NFZ240高性能直線電機(jī)平臺(tái)）

? 底座為濟(jì)南青或印度黑等高性能石材，精度可選0級(jí)或00級(jí)

? 可根據(jù)應(yīng)用要求選配機(jī)架及隔振系統(tǒng)

? XY運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)經(jīng)過優(yōu)化，支持快速啟停、連續(xù)整定應(yīng)用（10kg負(fù)載2mm行程運(yùn)動(dòng)加整定＜30ms（運(yùn)動(dòng)時(shí)間20ms，整定時(shí)間5-8ms））*1

成為在可用空間有限時(shí)需要復(fù)雜多自由度運(yùn)動(dòng)的應(yīng)用的理想選擇。

適用于半導(dǎo)體檢測(cè)圓晶的調(diào)整，光學(xué)檢測(cè)，調(diào)節(jié)光路的應(yīng)用場(chǎng)景。