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A-HEX-10.6.100.100-XXX六由度位移臺

串并聯混合的TRIPOD結構，直線電機+光柵反饋，可實現三個直線和三個旋轉方向的六軸位移運動，帶動光學負載實現六軸方向上的高精度的位移調節(jié)，應用于光學檢測，同步輻射，高精度自動化領域。