多軸位移臺
A-HEX-90.6.60.60-XXX
A-HEX-90.6.60.60-XXX六自由度位移臺(大中空版本)
串并聯混合的TRIPOD結構,直線電機+光柵反饋,可實現三個直線和三個旋轉方向的六軸位移運動,大中孔設計可走光路,帶動光學負載實現六軸方向上的高精度的位移調節,應用于光學檢測,同步輻射,高精度自動化領域。
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