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可在緊湊而堅(jiān)固的平臺中提供一致且可靠的運(yùn)動(dòng)精度

具有超精細(xì)的定位分辨率、充足的有效載荷能力

成為在可用空間有限時(shí)需要復(fù)雜多自由度運(yùn)動(dòng)的應(yīng)用的理想選擇。適用于半導(dǎo)體檢測圓晶的調(diào)平。