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直線電機(jī)平臺

產(chǎn)品詳情
 
混合式壓電陶瓷平臺，基本于慣性壓電陶瓷和疊堆壓電陶瓷組合而成，可滿足毫米行程的同時滿足高頻率的掃描，提供更大范圍的掃描，可應(yīng)用于AFM領(lǐng)域。
慣性壓電陶瓷和疊堆陶瓷都可以使用相同的反饋信號
用于閉環(huán)定位。通過將兩者的機(jī)械零件和驅(qū)動信號組合在一起
產(chǎn)品參數(shù)