超薄直線臺
A-SVMMS60-X25 微型線性平臺
(可支持真空兼容10-5Pa)
A-SVMMS60-X25是一款超小體積25mm直線位移臺,伺服電機+絲杠+光柵的直線傳動結構,集成度非常高的一款線性位移臺,可實現50nm最小位移量,有一定自鎖力可應用于Z軸。可裝組成XYZ位移臺。
應用于光纖和光子元件的3D對準,精密自動化領域。
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