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北京納茲精密科技有限公司

BEIJING NATSU PRECISION TECHNOLOGY CO.LTD

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4K低溫無磁平臺

CUSTOM: CRYO HEXAPOD POSITIONING SYSTEM

產品詳情

產品參數

熱電聯產

描述
低溫六足體定位系統（CHPS）是為在低溫真空環境中使用而開發的6自由度定位平臺。并聯運動學導致一個輕而剛性的階段，具有很高的內部共振頻率。這使得樣品臺的位置對地面振動不敏感。粗略和精細的驅動串聯提供了CHPS毫米范圍，（亞）nm分辨率，高穩定性和動態定位性能。對稱性使工作臺位置對熱波動高度不敏感。每條腿都裝有一個光學編碼器，用于控制運動。

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