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產品參數

描述
對于客戶的Cryonenic應用，我們在Cryogenic Positioning Stage – High Resonance（CPSHR）中添加了一個自定義模塊。這樣，CPSHR的XYZ定位范圍為1 mm3，擴展了z，Rx和Ry范圍為幾mm的范圍。該階段是無游隙且無摩擦的階段：具有3個切向彎曲的整體結構。該階段的驅動是通過JPE的高低溫低溫線性驅動器：CLA1801-HF執行的。